| 초록 |
얼라인먼트 검출 촬영 수단 등의 온도 상승에 의한 위치 검출값의 드리프트 현상을 방지하여, 전원 투입 후 단시간 내에 높은 정밀도로 사용할 수 있는 X선 전사 장치를 제공한다. 연성 X선 발생 장치(1), X선 발생 장치의 X서 방출 창에 접속되고, 내부에 X선의 투과율이 높은 기체를 채운 대기 챔버(2)와, 대기 챔버에 부착되는 마스크,마스크에 대향시켜 미소한 간극을 두어 웨이퍼를 장치하는 스테이지(5), 대기 챔버내에 마련되고 또한 마스크 및 웨이퍼의 얼라인먼트의 상을 결합시키는 검출 광학계(6) 및 검출 광학계에서 상을 결합시킨 얼라인먼트의 상을 촬영하여 영상 신호로 변화하는 촬영 장치(9), 촬영 장치에서 발생하는 열에 의해 챔버내의 기체의 온도 상승을 방지하여 검출 광학계의 드리프트를 없애게 하고 촬영 장치가 설치된 부근의 기체를 배출시키는 배출구, 배출된 기체를 냉각해서 보내는 열교환기(16)와 송풍기(15), 열교환기(16)와 송풍기(15)로 부터의 기체를 대기 챔버내로 되돌려서 순환시키는 취출구를 구비하여 설치한다. |
