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193NM 레이저 및 검사 시스템

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기관명	NDSL
출원인	케이엘에이-텐코 코포레이션
출원번호	10-2015-7022954
출원일자	2015-08-24
공개번호	20151008
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	대략 193.4nm의 출력 파장을 발생시키는 레이저가, 기본파 레이저, 광학 파라메트릭 발생기, 제 4 고조파 발생기, 및 주파수 혼합 모듈을 포함한다.기본파 레이저에 커플링되는 광학 파라메트릭 발생기는 하향 변환된 신호를 발생시킬 수 있다.광학 파라메트릭 발생기 또는 기본파 레이저에 커플링될 수도 있는 제 4 고조파 발생기는 제 4 고조파를 발생시킬 수 있다.광학 파라메트릭 발생기 및 제 4 고조파 발생기에 커플링되는 주파수 혼합 모듈은, 제 4 고조파와 하향 변환된 신호의 주파수의 2 배의 합과 동일한 주파수에서 레이저 출력을 발생시킬 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157022954
첨부파일

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