| 초록 |
본 발명은 다변량 모니터링 캘리브레이션들 및 프로세스 감독 제어 시스템들을 전개시키는데 이용되도록, 동적 프로세스 또는 특정 프로세스 단계 또는 이들의 변형을 모사하는 합성 샘플들의 세트를 생성하는 것으로 이루어지는 방법을 설명한다. 캘리브레이션 모델 정확도 및 간겅성을 향상시키기 위해, 랜덤하게 스파이킹된, 프로그램된 스파이킹된, 랜덤한 믹싱 그리고 직교 실험 설계된 샘플들의 도입이 또한 설명된다. 새로운 방법은 이용가능한 데이터 및 품질 제어 데이터에 의해 표현되는 동적 프로세스들의 이전 지식을 이용하는 것에 의해 그리고 이러한 데이터를 이용하여 프로세스 다이내믹스를 모사하는 합성 샘플들을 구축하는데 이용될 수 있는 혼합물 프로파일들을 구축하는 것에 의해 작동한다. 동적 프로세스들을 모사하는 설계된 합성 멀티컴포넌트 샘플들을 포함하고 실험들의 직교 설계 또는 랜덤한 스파이크들 또는 프로그램된 스파이크들 또는 랜덤한 믹싱을 이용하여 캘리브레이션 모델 성능을 향상시키는, 종래 기술의 캘리브레이션 전개 결점들을 극복하기 위한 신규한 방법론이 제공될 수 있다. 실제 샘플들의 매트릭스 메인 컴포넌트 조성에 정확하게 근사시키는 이러한 멀티컴포넌트 합성-샘플들을 이용하여, 동적 프로세스 상태를 추정하기 위한 PAT 모니터링 툴들 (프로세스 감독) 의 신규한 이용을 실증하였다. 프로세스의 다변량 설계-공간을 스패닝하도록 준비된 합성-샘플들의 멀티파라메트릭 분석으로 다변량 프로세스 궤적들을 유도하는 능력은 프로세스 감독 제어 전략들이 프로세스 전개 및 최적화 동안 확립되는 것을 가능하게 한다. |
