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가변 용량성 튜너와 피드백 회로를 갖는 물리적 기상 증착법

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기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2012-7025249
출원일자	2012-09-26
공개번호	20130125
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	받침대(pedestal) 상에 지지되는 웨이퍼에 플라즈마 처리를 수행하기 위한 장치 및 방법을 제공한다. 그 장치는 웨이퍼가 지지될 수 있는 받침대, 가변 캐패시턴스를 갖는 가변 캐패시터, 가변 캐패시터에 부착되어 가변 캐패시터의 캐패시턴스를 변화시키는 모터, 모터에 연결되어 모터를 회전시키는 모터 제어기 및 받침대에 연결된 가변 캐패시터의 출력부을 포함한다. 가변 캐패시터의 원하는 상태는 공정 컨트롤러의 공정 레시피와 관련된다. 공정 레시피가 실행될 때, 가변 캐패시터는 원하는 상태에 놓이게 된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020127025249
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