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비선형 테이퍼를 갖는 층 및 제조의 방법

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기관명	NDSL
출원인	옥트로릭스 비브이
출원번호	10-2014-0085068
출원일자	2014-07-08
공개번호	20151119
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	제 1 물질의 제 1 층에서 비선형 두께 프로파일을 형성하기 위한 방법이 개시된다. 그 방법은 제 1 층 상에 제 2 물질의 가속기층을 형성하는 단계 및 가속기층 상에 배치된 마스크층을 형성하는 단계를 포함하고, 여기서 마스크층은 가속기층이 제 1 영역에서 제 1 부식액에 제 1 층을 노출시키는 것을 가능하게 하고, 제 1 축선에 따른 각각의 지점에 대한 노출 시간은 제 1 축선 상의 제 1 지점으로부터의 거리의 함수로서 비선형적으로 변한다. 제 1 층이 제 1 영역에서 제 1 에치에 노출되는 시간은 비선형적이기 때문에, 제 1 영역에서 제 1 층의 두께는 제 1 축선을 따라 비선형적으로 변한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020140085068
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