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레이저 가공 장치 및 레이저 가공 방법

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기관명	NDSL
출원인	하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
출원번호	10-2015-7024896
출원일자	2015-09-10
공개번호	20151203
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	레이저광(L)을 출사하는 레이저 광원과, 레이저 광원에 의해 출사된 레이저광(L)을 변조하는 공간광 변조기(203)와, 공간광 변조기(203)에 의해 변조된 레이저광을 가공 대상물(1)에 집광시키는 집광 광학계(204)를 구비하고, 공간광 변조기(203)는, 유리부에 개질 영역(7)을 형성하는 경우, 액시콘 렌즈 패턴을 변조 패턴으로서 표시함으로써, 레이저광 조사 방향을 따라서 근접하게 늘어서는 복수 위치에 집광점이 형성되도록 레이저광을 유리부에 집광시키는 유리를 포함하는 유리부에 실리콘을 포함하는 실리콘부가 수지부를 통해서 적층된 가공 대상물(1)에 대해서 레이저광(L)을 집광시킴으로써, 절단 예정 라인(5)을 따라서 가동 대상물(1)의 내부에 개질 영역(7)을 형성함으로써, 가공 품질을 향상시킨다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157024896
첨부파일

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