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주기적 구동계의 이상 검지 장치, 주기적 구동계를 갖는 처리 장치, 주기적 구동계의 이상 검지 방법 및 컴퓨터 프로그램

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기관명	NDSL
출원인	도쿄엘렉트론가부시키가이샤
출원번호	10-2012-0142233
출원일자	2012-12-07
공개번호	20130621
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	주기적 구동계의 이상 검지 장치로서, 처리 장치에 있어서의 처리에 이용하는 주기적 구동계로부터의 소리를 검출하는 검출 수단과, 검출된 소리로부터 시간과 함께 변동하는 시계열 데이터를 취득하는 데이터 취득 수단과, 상기 데이터 취득 수단에서 취득한 시계열 데이터로부터 그 시계열 데이터가 결정론적인지 확률론적인지의 지표로 되는 결정론성을 나타내는 값 또는 그 값의 산출 과정에서의 중간 변화량을 소정 시간마다 복수 산출하는 결정론성값 산출 수단과, 상기 복수 산출한 결정론성을 나타내는 값 또는 그 값의 산출 과정에서의 중간 변화량의 확률 분포를 산출하는 확률 분포 산출 수단과, 상기 결정론성을 나타내는 값 또는 그 값의 산출 과정에서의 중간 변화량의 확률 분포에 근거하여 상기 주기적 구동계의 이상 여부를 판정하는 판정 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 주기적 구동계의 이상 검지 장치가 제공된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020120142233
첨부파일

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