다이 구조물을 가지는 다이, 뿐만 아니라 이의 제조 방법
기관명 | NDSL |
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출원인 | 에베 그룹 에. 탈너 게엠베하 |
출원번호 | 10-2016-7013916 |
출원일자 | 2016-05-25 |
공개번호 | 20160808 |
공개일자 | 0000-00-00 |
등록번호 | |
등록일자 | 0000-00-00 |
권리구분 | KUPA |
초록 | 본 발명은 기판 또는 연성 다이 상에 마이크로 구조물 및/또는 나노 구조물을 도포하기 위한 다이 구조물을 가지는 구조적 다이의 제조 방법에 관한 것이며, 여기서 다이 구조물은 적어도 부분적으로 본 발명에 따라 낮은 접착 특성을 가지는 다이 재료로 구성된다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167013916 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | G03F-007/00,G03F-001/60,G03F-007/004,G03F-007/20 |
주제어 (키워드) |