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특허/실용신안
스퍼터링용 셀형 패널 고정장치
특허 실용신안 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 출원인 | 주식회사 유아이디 |
| 출원번호 | 10-2015-0111800 |
| 출원일자 | 2015-08-07 |
| 공개번호 | 20151231 |
| 공개일자 | 2015-12-28 |
| 등록번호 | 10-1580587-0000 |
| 등록일자 | 2015-12-21 |
| 권리구분 | KPTN |
| 초록 | 본 발명은 스퍼터링에 의해 셀형 패널 표면에 형성되는 박막의 번짐을 방지할 수 있도록 한 스퍼터링용 셀형 패널 고정장치에 관한 것으로, 복수의 셀형 패널 전면을 지지하되, 상기 셀형 패널을 각각 수용하는 복수의 안착홈을 구비하고, 상기 안착홈 각각의 가장자리부 내측에 전후면을 관통하는 제1 슬릿을 구비하는 프론트커버와, 상기 복수의 셀형 패널 배면을 각각 지지하되, 가장자리부에 간격을 두고 배치되는 복수의 제1 자성체를 구비하는 복수의 리어커버와, 상기 프론트커버와 상기 리어커버 사이에 배치되되, 상기 제1 슬릿에 대응하는 제2 슬릿을 구비하는 복수의 마스크를 포함하고, 상기 프론트커버는, 상기 안착홈 각각의 사방 모서리 내측으로 돌출되며, 볼트 체결에 의해 상기 프론트커버에 결합되는 지지편, 및 상기 안착홈 각각의 내측에 수용되는 상기 리어커버를 압착하도록 코일 스프링에 의해 탄성 지지되며 상기 안착홈 각각의 내외측으로 회동 가능하게 형성되는 돌출부재를 포함한다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020150111800 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| IPC분류체계CODE | C23C-014/34,C23C-014/04,C23C-014/50 |
| 주제어 (키워드) |