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이온주입장치 및 이온빔의 조정방법

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기관명	NDSL
출원인	스미도모쥬기가이 이온 테크놀로지 가부시키가이샤
출원번호	10-2015-0111348
출원일자	2015-08-07
공개번호	20160325
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	이온주입장치의 생산성의 저하를 회피하면서, 에너지 정밀도의 향상을 실현한다. 이온주입장치의 에너지분석슬릿(28)은, 주어진 주입 조건하에서 행해지는 주입 처리에 사용되는 표준 슬릿개구(110)와, 표준 슬릿개구(110)보다 높은 에너지 정밀도를 가지고, 고주파 선형가속기의 가속 파라미터를 조정하기 위하여 사용되는 고정밀도 슬릿개구(112)를 전환 가능하게 구성되어 있다. 가속 파라미터는, 고주파 선형가속기에 공급되는 이온 중 적어도 일부가 목표 에너지로 가속되도록, 또한, 빔계측부에 의하여 계측되는 빔전류량이 목표 빔전류량에 상당하도록, 주어진 주입 조건에 관하여 결정된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020150111348
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