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과립형 폴리실리콘의 제조를 위한 유동상 반응기 및 방법

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기관명	NDSL
출원인	와커 헤미 아게
출원번호	10-2015-7034303
출원일자	2015-12-01
공개번호	20160114
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 가열 장치를 통해 850∼1100℃의 온도로 가열된 유동상에서 가스 흐름을 이용하여 실리콘 입자를 유동시키는 단계, 1 이상의 노즐을 이용하여 실리콘 함유 반응 가스를 첨가하는 단계, 및 실리콘 입자 상에 실리콘을 퇴적시키는 단계를 포함하는, 유동상 반응기에서 과립형 폴리실리콘을 제조하는 방법에 관한 것으로, 상기 1 이상의 노즐의 노즐 개구 주위의 축 대칭 영역의 56% 이상에서 - 반응 가스 농도가 반응 가스의 최대 농도(10∼50 몰%)의 75%를 초과하고, - 유동상 온도가 축 대칭 영역 외부의 유동상 온도(850∼1100℃)의 95%를 초과하며, - 고형분 농도가 유동상의 에지에서의 고형분 농도(55∼90 체적%)의 85%를 초과한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157034303
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