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EPI 챔버 유동 조작을 위한 주입구 및 배기구 설계

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기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2015-7034290
출원일자	2015-12-01
공개번호	20160114
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 명세서에 기재된 실시예들은 일반적으로 프로세스 챔버에서의 유동 제어에 관한 것이다.프로세스 챔버는 유동 제어 배기구와 광폭 주입구의 조합들을 포함할 수 있다.유동 제어 배기구 및 광폭 주입구는 챔버에 이미 존재하는 가스들을 제어할 뿐만 아니라, 프로세스 가스들이 챔버에 진입하고 챔버를 떠날 때에 이러한 가스들의 제어된 유동을 제공할 수 있다.그러므로, 전체 퇴적 프로파일이 더 균일하게 유지될 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157034290
첨부파일

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