| 기업공감원스톱서비스

디바이스 제조 방법, 기판 처리 방법 및 미스트에 의한 성막장치

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 니콘
출원번호	10-2018-7000298
출원일자	2018-01-04
공개번호	20180118
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	미세한 패턴을 고정밀도로 기판에 형성할 수 있는 기판 처리 장치 및 디바이스 제조 방법을 제공한다. 기판 상에, 광 에너지에 의해서 친발액성에 차이가 생기는 기능층(커플링제)을 도포하고, 광 패터닝을 행하여, 기능층에 친발액성으로 콘트라스트를 부여한 후, 전자 디바이스 등을 위한 원재료 물질을 포함하는 용액을 초음파 등에 의해 미스트화 하여 기판 표면에 분무하는 것에 의해, 기판 표면 중 표면 에너지가 높은 친액부에 미스트를 부착시켜, 원재료 물질을 선택적으로 퇴적시킨다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020187000298
첨부파일

기업조회