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하전 입자 빔 장치

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 히다치 하이테크 사이언스
출원번호	10-2016-0010562
출원일자	2016-01-28
공개번호	20160901
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	[과제] 이온 빔에 의한 시료의 가공에 의해 형성된 시료편을 적출하고 시료편 홀더에 이설시키는 동작을 자동적으로 반복한다. [해결 수단] 하전 입자 빔 장치는, 하전 입자 빔을 니들에 조사하여 얻어진 흡수 전류 화상에 의해 형성한 템플릿과, 하전 입자 빔을 니들에 조사하여 얻어진 이차 전자 화상으로부터 취득한 니들의 선단 좌표를 이용해, 니들을 시료편에 접근시키도록 니들 구동 기구를 제어하는 컴퓨터를 구비한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020160010562
첨부파일

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