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웨이퍼 상의 메모리 디바이스 영역에서 검출된 결함들을 분류하기 위한 컴퓨터-구현 방법들, 컴퓨터-판독 가능 매체, 및 시스템들

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기관명	NDSL
출원인	케이엘에이-텐코어 코오포레이션
출원번호	10-2016-7012945
출원일자	2016-05-17
공개번호	20160603
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	웨이퍼 상의 메모리 디바이스 영역에서 검출된 결함들을 분류하기 하기 위한 컴퓨터-구현 방법들, 컴퓨터-판독 가능 매체, 및 시스템들이 제공된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167012945
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