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자동화된 TEM 샘플 준비

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기관명	NDSL
출원인	에프이아이 컴파니
출원번호	10-2015-0155516
출원일자	2015-11-06
공개번호	20160519
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	박편의 자동화된 추출들 용이하게 하는 기술들이 설명되며, 투과 전자 현미경들 상의 관측을 위해 박편이 샘플 그리드에 부착된다.본 발명의 일부 실시예들은 기계적 시각화를 사용하여 박편, 프로브, 및/또는 TEM 그리드의 위치들을 결정하여 프로브의 박편으로의 부착 및 박편의 TEM 그리드로의 부착을 안내하는 것과 관련된다.기계적 시각화의 사용을 용이하게 하는 기술들은 프로브 팁을 성형하는 것을 포함하고, 그에 따라 그것의 위치가 이미지 인식 소프트웨어에 의해 용이하게 인식될 수 있다.이미지 감산 기술들이 부착을 위해 TEM 그리드로 박편을 이동하도록 프로브에 부착된 박편의 위치를 결정하는데 사용될 수 있다.일부 실시예들에서, 참조 구조물들이 이미지 인식을 용이하게 하기 위해 프로브 상에서 또는 박편 상에서 밀링된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020150155516
첨부파일

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