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IC 신뢰성 결함 검출

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	케이엘에이-텐코 코포레이션
출원번호	10-2016-7013771
출원일자	2016-05-24
공개번호	20160707
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	웨이퍼 상의 신뢰성 결함을 검출하기 위한 방법 및 시스템이 제공된다.일 방법은 검사 시스템에 의해 발생된 웨이퍼를 위한 출력을 취득하는 것을 포함한다.방법은 출력에 기초하여 웨이퍼 상에 형성된 하나 이상의 패터닝된 특징부의 하나 이상의 기하학적 특성을 결정하는 것을 또한 포함한다.게다가, 방법은 결정된 하나 이상의 특성에 기초하여 하나 이상의 패터닝된 특징부의 어느 것이 웨이퍼 상에 형성되는 디바이스 내의 하나 이상의 신뢰성 결함을 유발할 것인지를 식별하는 것을 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167013771
첨부파일

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