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유동성 막들의 광-보조 증착

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기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2016-7020305
출원일자	2016-07-25
공개번호	20160901
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	유동성 막을 형성하기 위한 방법 및 장치가 설명된다.방법은, 기판을 포함하는 프로세싱 챔버에 무 산소 전구체 가스 혼합물을 제공하는 단계를 포함한다.무 산소 전구체 가스는 프로세싱 챔버에서의 UV 복사에 대한 노출에 의해 활성화된다.UV 활성화로부터 기인한 분자 프래그먼트들은, 기판 상에 유동성 막을 형성하기 위해, 기판 상에 증착되도록 촉진된다.기판은 증착을 촉진하기 위해 냉각될 수 있다.막은, 가열에 의해, 그리고/또는 UV 복사에 대한 추가적인 노출에 의해, 하드닝될 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167020305
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