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고주파 전원장치 및 플라즈마 착화방법

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기관명	NDSL
출원인	가부시끼가이샤교산세이사꾸쇼
출원번호	10-2016-7009142
출원일자	2016-04-06
공개번호	20160510
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	고주파 전원장치는 플라즈마 착화하는 펄스 전력을 공급하는 플라즈마 착화 공정과, 발생된 플라즈마를 유지하는 구동 전력을 공급하는 구동 전력 공급공정을 구비한다. 플라즈마 착화 공정에 있어서, 착화펄스 출력 동작에서 인가하는 착화펄스를, 착화를 촉진하는 메인 펄스와, 메인 펄스의 앞 단계에서 인가되어, 메인 펄스보다 저전력의 프리 펄스에 의하여 구성된다. 착화펄스를 메인 펄스와 프리 펄스로 구성함으로써, 반사파 전력으로부터 고주파 전원을 보호함과 함께 플라즈마의 확실한 착화를 행한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167009142
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