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저 잡음, 높은 안정성, 심 자외선, 연속파 레이저

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기관명	NDSL
출원인	케이엘에이-텐코 코포레이션
출원번호	10-2016-7009096
출원일자	2016-04-06
공개번호	20160519
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	심 자외선(DUV) 연속파(CW) 광을 발생시키기 위한 레이저는 제2 고조파 생성기 및 제4 고조파 생성기를 포함한다.제4 고조파 생성기는 복수의 미러 뿐만 아니라 제1 및 2 비선형 광학(NLO) 크리스탈을 포함한다.제1 NLO 크리스탈은 제4 고조파 파장을 가진 광을 생성하고, 복수의 미러와 연관되어 동작하도록 배치된다.제2 NLO 크리스탈은 제2 고조파 파장을 갖는 광이 제1 및 2 NLO 크리스탈 모두를 통과하도록 제1 NLO 크리스탈과 연관되어 동작하도록 배치된다.특히, 제2 NLO 크리스탈의 제2 광학 축은 제1 NLO 크리스탈의 제1 광학 축에 대해 대략 90도로 제2 NLO 크리스탈 내에서 광의 전파 방향에 대해 회전된다.제2 NLO 크리스탈은 파장 변환을 제공하지 않는다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167009096
첨부파일

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