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마이크로리소그래피 투영 노광 장치 및 이러한 장치의 광학적 파면 변형의 교정 방법

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기관명	NDSL
출원인	칼 짜이스 에스엠티 게엠베하
출원번호	10-2016-7009131
출원일자	2016-04-06
공개번호	20160519
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	마이크로리소그래피 투영 노광 장치(10)는 광학 파면 변형을 교정하도록 구성되는 교정 장치(40)를 포함하며 제 1 광학 소자(42a), 제 2 광학 소자(42b), 및 제 1 배열과 제 2 배열 사이에서 상기 제 1 광학 소자 및 상기 제 2 광학 소자를 이동시키도록 구성되는 구동 메커니즘(44)을 포함한다.상기 제 1 배열에서, 상기 제 1 광학 소자(42a)는 투영 광 경로(PLP)에 배열되는 적어도 일부를 갖는 내부 광학 소자이며 상기 제 2 광학 소자(42b)는 상기 투영 광 경로(PLP)의 밖에 완전히 배열되는 외부 광학 소자이다.상기 제 2 배열에서, 상기 제 2 광학 소자는 상기 내부 광학 소자이며 상기 제 1 광학 소자는 상기 외부 광학 소자이다.교정 장치는 외부 광학 소자의 온도 분포를 변경하도록 구성되는 온도 제어 장치(50a, 50b)를 더 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167009131
첨부파일

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