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기판 분석 샘플링을 결정하기 위해 기판 기하학을 이용하기 위한 방법 및 디바이스

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	케이엘에이-텐코 코포레이션
출원번호	10-2014-7034151
출원일자	2014-12-04
공개번호	20150212
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	기판의 프로세싱에서의 프로세스 제어를 위한 방법 및 장치가 본 발명에 개시된다.본 발명의 실시예들은 기판의 기하학에서의 변경들을 결정하기 위해 제 1 분석 툴을 활용한다.기판 기하학 데이터는 프로세싱 후에 에러들을 갖는 경향이 있는 기판의 영역들을 검사하기 위해 이용될 샘플링 플랜을 발생시키기 위해 이용된다.샘플링 플랜은 제 2 분석 툴에 피드 포워드되며, 제 2 분석 툴은 기판이 프로세싱된 후에 기판을 샘플링한다.본 요약은 탐색자 또는 다른 독자가 신속하게 기술적 개시의 청구 대상을 확인하게 허용할 요약을 필요로 하는 규칙들에 따르도록 제공되는 것이 강조된다.본 요약이 청구범위의 범위 또는 의미를 해석하거나 제한하도록 이용되지 않음이 이해될 것이다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020147034151
첨부파일

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