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생성 방법, 기억 매체 및 정보 처리 장치

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기관명	NDSL
출원인	캐논 가부시끼가이샤
출원번호	10-2016-0097715
출원일자	2016-08-01
공개번호	20160818
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 기판을 노광하는 노광 장치에 사용되는 복수의 마스크의 패턴의 데이터를 생성하는 생성 방법으로서, 상기 기판 상에 형성되는 패턴 요소를 교차점으로서 가지는 그리드 상의 복수의 점으로부터, 상기 기판 상에 형성되는 타깃 패턴을 구성하는 타깃 패턴 요소들의 점들 이외의 점들에 패턴이 전사되는 것을 허용하는 허용점을 특정하는 단계와, 인접하는 타깃 패턴 요소까지의 거리가 상기 노광 장치의 해상 한계보다 짧은 타깃 패턴 요소를 포함하는 패턴 요소 그룹에 대해서, 상기 그리드 상에서 사이의 공간이 상기 허용점으로 채워진 인접하는 타깃 패턴 요소들을 그룹화하는 단계를 포함하는 생성 방법을 제공한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020160097715
첨부파일

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