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유기아미노실란 전구체 및 이를 포함하는 필름을 증착시키는 방법

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기관명	NDSL
출원인	에어 프로덕츠 앤드 케미칼스, 인코오포레이티드
출원번호	10-2016-0079301
출원일자	2016-06-24
공개번호	20160714
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본원에서는 규소-함유 필름을 형성시키는 전구체 및 방법이 기재된다. 한 가지 양태에서, 전구체는 하기 화학식(A) 내지 화학식(E) 중 하나로 표현되는 화합물을 포함한다: 한 가지 특정 구체예에서, 유기아미노실란 전구체는 규소-함유 필름 저온(예, 350℃ 또는 그 미만), 원자층 증착(ALD) 또는 플라즈마 강화 원자층 증착(PEALD)에 효과적이다.또한, 본원에서는 아민, 할라이드(예, Cl, F, I, Br), 고분자량 종(higher molecular weight species), 및 미량의 금속으로부터 선택된 하나 이상이 실질적으로 없는 본원에 기재된 유기아미노실란을 포함하는 조성물이 기재된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020160079301
첨부파일

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