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투영 광학계의 결상 특성의 변동량 산출 방법, 노광 장치, 및 디바이스 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	캐논 가부시끼가이샤
출원번호	10-2016-0017227
출원일자	2016-02-15
공개번호	20160303
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	제1 파장 대역의 노광 광에 기판이 노광된 경우, 단위 노광 에너지당 투영 광학계의 결상 특성의 변동량으로서 정의되는 제1 파장 대역에 대한 노광 계수는 투영 광학계의 광학 특성의 변동량의 데이터를 사용하여 산출된다.제1 파장 대역과 상이한 제2 파장 대역에 대한 노광 계수는 제1 파장 대역에 대한 노광 계수를 사용하여 산출된다.제2 파장 대역의 노광 광에 기판이 노광되는 경우, 투영 광학계의 결상 특성의 변동량은 제2 파장 대역에 대한 노광 계수를 사용하여 산출된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020160017227
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