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내장된 유량 센서를 갖는 x 선 발생장치

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기관명	NDSL
출원인	,
출원번호	10-2016-7013779
출원일자	2016-05-24
공개번호	20160630
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 X 선 튜브들의 분야 내에 있으며, X 선 유량 센서 (21) 의 튜브 내로의 통합에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, X 선 발생장치 튜브는 캐소드와 애노드를 갖는 진공 챔버를 포함하고, 캐소드는 애노드 방향으로 전자 빔을 방출하며, 애노드는 전자 빔에 의해 영향을 받는 경우 X 선 방사를 방출하는 타겟을 포함하고, X 선 방사는 다이아몬드-기반 투과 윈도우 (30) 를 통해 진공 챔버의 벽을 통과하여 진공 챔버의 외부로 전파한다. 본 발명에 따르면, 다이아몬드-기반의 X 선 센서는 다이아몬드-기반 투과 윈도우 내로 내장된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167013779
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