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리프트오프 방법

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	가부시기가이샤 디스코
출원번호	10-2015-0094229
출원일자	2015-07-01
공개번호	20160128
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 광디바이스층으로부터 에피택시 기판을 원활하게 박리할 수 있도록 하는 것을 과제로 한다. 광디바이스 웨이퍼(10)에서는, 에피택시 기판(11)의 표면(11a)에 Ga를 포함하는 Ga 화합물로 이루어진 버퍼층(13)을 통해 광디바이스층(12)이 형성되어 있다.광디바이스 웨이퍼의 광디바이스층에 이설 기판(20)을 접합한 후, 에피택시 기판의 이면(11b)측으로부터 에피택시 기판에 대해서는 투과성을 가지며 버퍼층에 대해서는 흡수성을 갖는 파장의 펄스 레이저 광선을 조사하고, 에피택시 기판과 버퍼층의 경계면에 박리층을 형성한다.그 후, 에피택시 기판의 외주부에 초음파 진동을 발진하는 초음파 혼(42)을 접촉시켜 에피택시 기판을 진동시키고, 이설 기판으로부터 에피택시 기판을 박리하고, 광디바이스층을 이설 기판으로 이설한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020150094229
첨부파일

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