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다공성 층을 포함하는 창유리의 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	쌩-고벵 글래스 프랑스
출원번호	10-2014-7000977
출원일자	2014-01-14
공개번호	20140410
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 다공성 재료로 이루어지며, 특히 그에 의해 굴절률이 감소되는 하나 이상의 층을 포함하는 코팅이 제공되어 있는 기판, 특히 유리 기판을 포함하는 창유리의 제조 방법으로서, 진공 챔버 중에서 물리적 증착 (PVD) 공정으로 기판 상에 코팅을 증착시키는 단계 - 코팅은 Si, Ti, Sn, Al, Zr, In으로부터 선택된 1종 이상의 원소 또는 이들 원소 중 2종 이상의 혼합물, 산소 및 탄소를 포함하며, 또한 임의로는 수소를 포함하는 재료의 하나 이상의 층을 포함함 -; 및 이와 같이 증착된 층을, 탄소의 적어도 일부를 제거하여 상기 다공성 재료의 층을 형성할 수 있는 조건하에서 열처리하는 단계를 포함하고, 상기 증착은 원소(들)의 1종 이상의 전구체를 포함하는 반응성, 바람직하게는 산화성 플라즈마 분위기 하에서 상기 챔버를 통과하는 기판 상에 탄소 타겟을 스퍼터링하여 수행되는 것을 특징으로 하는 방법에 관한 것이다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020147000977
첨부파일

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