유기금속화학기상증착장치
기관명 | NDSL |
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출원인 | 주식회사 테스 |
출원번호 | 10-2014-0137953 |
출원일자 | 2014-10-13 |
공개번호 | 20160428 |
공개일자 | 0000-00-00 |
등록번호 | |
등록일자 | 0000-00-00 |
권리구분 | KUPA |
초록 | 본 발명은 유기금속화학기상증착장치에 관한 것으로서, 승강구동부에 의한 기판가열유닛의 승강구동 및 이송챔버와 상기 승강구동부에 의해 챔버 리드를 개폐하지 않고도 챔버내에 기판을 로딩 및 언로딩할 수 있으므로, 진공상태의 반응기를 대기 상태로 전환할 필요가 없으며, 기판을 로딩하면서 연속적인 공정이 가능하고, 기판을 공급하기 위해서 파트들을 분해 및 조립할 필요가 없다.또한, 챔버 내부의 고온상태에서도 기판의 로딩/언로딩이 용이하고, 고온의 증착공정에 의해 열변형된 서셉터나 샤프트를 교체하는 경우에도 레벨링을 용이하게 할 수 있다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020140137953 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | H01L-021/205,H01L-051/56 |
주제어 (키워드) |