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유기금속화학기상증착장치

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기관명	NDSL
출원인	주식회사 테스
출원번호	10-2014-0137955
출원일자	2014-10-13
공개번호	20160428
공개일자	2016-08-29
등록번호	10-1651880-0000
등록일자	2016-08-23
권리구분	KPTN
초록	본 발명은 본 발명은 유기금속화학기상증착장치에 관한 것으로서, 기판수용챔버 내부에 반응공간형성유닛을 구비함으로써 증착장치 내부의 반응공간을 최소화함으로써, 기판수용챔버 내벽면에 반응가스가 기생증착하는 것을 방지하여 반응기 내부의 오염을 최소화할 수 있고, 증착장치의 이너 챔버의 외부 및 기판수용챔버 내부의 유지관리를 위해 교체하는 회수를 줄일 수 있고, 이로서 유지관리를 위한 장치 내부의 교체로 인한 시간과 비용 및 재가동을 위한 시간 및 비용을 절감할 수 있으므로 전체적으로 쓰루풋을 향상시킬 수 있으며, 가스공급부와 가스안내판 및 가스안내판위치조절부에 의해 챔버내의 반응공간에 공급되는 반응가스의 안정적 흐름을 확보하여 박막의 균일도를 향상시킬 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020140137955
첨부파일

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