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인듐제 원통형 스퍼터링 타깃 및 그 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	제이엑스금속주식회사
출원번호	10-2016-7017738
출원일자	2016-07-01
공개번호	20160721
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	막두께 분포가 양호한 인듐제 원통형 스퍼터링 타깃 및 그 제조 방법을 제공한다. 스퍼터링되는 표면 전체의 평균 결정 입자경이 1 ∼ 20 ㎜ 인 인듐제 원통형 타깃. 백킹 튜브와 일체화된 인듐제 원통형 타깃 반제품을 주조하는 공정과, 당해 반제품의 길이 방향 전체에 걸쳐서, 직경 방향으로 총압하율 10 % 이상에서 소성 가공을 실시하는 공정을 포함하는 인듐제 원통형 타깃의 제조 방법.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167017738
첨부파일

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