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반도체 처리 챔버를 위한 흡수성 반사기

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기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2016-7001523
출원일자	2016-01-19
공개번호	20160311
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 개시물의 실시예들은 일반적으로 열 처리 챔버에서 사용하기 위한 반사기에 관한 것이다.일 실시예에서, 열 처리 챔버는 상부 돔; 상부 돔에 대향하는 하부 돔 - 상부 돔과 하부 돔은 처리 챔버의 내부 용적을 정의함 -; 내부 용적 내에 배치된 기판 지지체; 및 상부 돔 위에서 상부 돔 부근에 위치된 반사기 - 반사기는 기판 지지체를 향하는 반사기의 면 상에 퇴적된 열 흡수성 코팅 층을 가짐 - 를 일반적으로 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167001523
첨부파일

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