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5 족 전이 금속-함유 필름의 증착을 위한 5 족 전이 금속-함유 화합물

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기관명	NDSL
출원인	레르 리키드 쏘시에떼 아노님 뿌르 레?드 에렉스뿔라따시옹 데 프로세데 조르즈 클로드
출원번호	10-2016-7015504
출원일자	2016-06-10
공개번호	20160721
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	기재되는 것은 5 족 전이 금속-함유 박막 형성 전구체이다.또한 기재되는 것은 증착 공정을 통해 하나 이상의 기판 상에 5 족 전이 금속-함유 박막을 증착하기 위한 기재된 전구체의 합성 방법 및 사용 방법이다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167015504
첨부파일

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