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리소그라피용 공중합체 및 그의 평가 방법

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기관명	NDSL
출원인	미츠비시 레이온 가부시키가이샤
출원번호	10-2014-7016996
출원일자	2014-06-20
공개번호	20140814
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	리소그라피용 공중합체를 포함하는 리소그라피용 조성물의 리소그라피 특성을, 실제로 리소그라피용 조성물을 조제하지 않고 평가할 수 있는 방법을 제공한다.리소그라피용 공중합체를 용매에 용해시켜 시험 용액을 조제하는 공정과, 상기 시험 용액 중의 겔상물을 분리하는 공정과, 상기 리소그라피용 공중합체에 있어서의 구성 단위의 조성비에 대한, 상기 겔상물에 있어서의 구성 단위의 조성비에서 상기 리소그라피용 공중합체에 있어서의 구성 단위의 조성비를 뺀 차이의 비율을 나타내는 조성비 변화율을 구하는 공정과, 상기 조성비 변화율에 의해, 상기 리소그라피용 공중합체를 포함하는 리소그라피용 조성물의 리소그라피 특성을 평가한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020147016996
첨부파일

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