| 기업공감원스톱서비스

반도체 프로세싱을 위한 평면 가열기 구역을 구비한 가열 플레이트

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	램 리써치 코포레이션
출원번호	10-2016-7020482
출원일자	2016-07-26
공개번호	20160811
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	반도체 플라즈마 프로세싱 장치에서 기판 지지부 어셈블리를 위한 가열 플레이트는 크기를 변경할 수 있는 다중화 레이아웃으로 배열된 다수의 독립적으로 제어가능한 평면 가열기 구역들, 및 독립적으로 제어하기 위한 전자장치들, 및 평면 가열기 구역들에 대한 전력을 포함한다. 각각의 평면 가열기 구역은 절연체-도체 복합물로 이루어진 하나 이상의 가열기 소자들을 포함한다. 가열 플레이트가 포함되는 기판 지지부 어셈블리는 정전 클램핑 전극 및 온도가 제어된 베이스 플레이트를 포함한다. 가열 플레이트를 제조하는 방법들은 평면 가열기 구역들, 전력 공급 라인들, 전력 리턴 라인들, 및 비아들을 갖는 세라믹 시트들을 함께 본딩하는 단계를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167020482
첨부파일

기업조회