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플라즈마 보조 물리 기상 증착원 및 이를 이용한 증착 장치

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기관명	NDSL
출원인	한국기초과학지원연구원
출원번호	10-2014-0063831
출원일자	2014-05-27
공개번호	20151210
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	플라즈마 보조 물리 기상 증착원이 개시된다. 본 발명인 플라즈마 보조 물리 기상 증착원은 내부에 증발 물질 수용 공간 및 상기 증발 물질 수용 공간의 위에 있는 플라즈마 발생 공간을 갖는 도가니; 상기 증발 물질 수용 공간 내의 증발 물질; 상기 증발 물질을 기화시키도록 구성된 가열 수단; 상기 플라즈마 발생 공간에 위치하고, 상기 가열 수단에 의해 기화된 증발 물질의 플라즈마를 유도하도록 구성된 플라즈마 발생 수단; 상기 도가니의 상면에 형성되어 있고, 상기 플라즈마화된 증발 물질을 상기 도가니 밖으로 안내하도록 구성된 방출부를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020140063831
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