| 기업공감원스톱서비스

평면디스플레이용 화학 기상 증착장치

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	주식회사 에스에프에이
출원번호	10-2013-0135734
출원일자	2013-11-08
공개번호	20150521
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	평면디스플레이용 화학 기상 증착장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 평면디스플레이용 화학 기상 증착장치는, 평면디스플레이용 기판에 대한 증착 공정이 진행되며 내부에 공정 가스를 분사하는 상부 전극이 마련되는 공정 챔버와, 공정 챔버에 연결되며 평면디스플레이용 기판을 지지하는 하부 전극과, 하부 전극에 지지되며 상부 전극에 대한 하부 전극의 기울기를 감지하는 기울기 감지유닛과, 하부 전극에 연결되며 하부 전극의 기울기를 조절하는 기울기 조절유닛과, 기울기 감지유닛과 기울기 조절유닛에 무선 또는 유선으로 연결되며 기울기 감지유닛의 감지신호에 따라 기울기 조절유닛을 제어하는 제어부를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020130135734
첨부파일

기업조회