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금속 산화물막의 제조 방법, 금속 산화물막, 박막 트랜지스터, 및 전자 디바이스

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기관명	NDSL
출원인	후지필름 가부시키가이샤
출원번호	10-2016-7014757
출원일자	2016-06-02
공개번호	20160714
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은, 용매 및 금속 성분으로서 적어도 인듐을 포함하는 용액을 기판 상에 도포하여 금속 산화물 전구체막을 형성하는 전구체막 형성 공정과, 상기 금속 산화물 전구체막을 가열한 상태로, 산소 농도가 80000ppm 이하인 분위기하에서 자외선 조사를 행함으로써 상기 금속 산화물 전구체막을 금속 산화물막으로 전화시키는 전화 공정을 갖는 금속 산화물막의 제조 방법 및 그 응용을 제공한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167014757
첨부파일

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