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자가-정렬된 주입과 캡을 사용한 태양 전지 이미터 영역 제조

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기관명	NDSL
출원인	선파워 코포레이션
출원번호	10-2016-7014748
출원일자	2016-06-02
공개번호	20160818
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	자가-정렬된 주입과 캡을 사용하여 태양 전지 이미터 영역을 제조하는 방법, 및 생성된 태양 전지가 기술된다.일례에서, 태양 전지의 이미터 영역의 제조 방법은 기판 위에 규소 층을 형성하는 단계를 포함한다.이 방법은 또한 규소 층의 주입 영역들과 함께 인접한 비-주입 영역들을 형성하도록, 규소 층 내에 도펀트 불순물 원자들을 스텐실 마스크를 통해 주입하는 단계를 포함한다.이 방법은 또한 스텐실 마스크를 통해, 규소 층의 주입 영역들 상에서 이들과 실질적으로 정렬되게 캡핑 층을 형성하는 단계를 포함한다.이 방법은 또한 규소 층의 비-주입 영역들을 제거하는 단계를 포함하며, 여기서 제거하는 동안에 캡핑 층은 규소 층의 주입 영역들을 보호한다.이 방법은 또한 규소 층의 주입 영역들을 어닐링하여, 도핑된 다결정 규소 이미터 영역을 형성하는 단계를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167014748
첨부파일

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