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극자외선 및 연질 X선 광학소자용의 코팅

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기관명	NDSL
출원인	자이스왈, 수프리야
출원번호	10-2018-7002864
출원일자	2018-01-29
공개번호	20180405
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	0.1㎚ 내지 250㎚의 극자외선/연질 엑스선 스펙트럼/DUV에서 사용하기 위한 코팅은, 부파장 'B층'과 교번하는 하나 이상의 부파장 'A층'을 포함한다. A층은 1족, 2족, 및 18족 물질을 포함할 수도 있다. B층은, 전이 금속, 란타나이드, 악티나이드, 또는 이들의 조합물 중 하나를 포함할 수도 있다. A층 및/또는 B층은, 예상되는 결함과 유사한 크기 또는 형상의 특징부를 갖는 나노구조를 포함할 수도 있다. 추가 상부층은, 보다 높은 원자 번호의 A층 물질, 소수성 물질, 또는 대전된 물질을 포함할 수도 있다. 이러한 물질은, 미러, 렌즈, 또는 기타 광학소자, 패널, 광원, 포토마스크, 포토레지스트 등의 구성요소 또는 리소그래피, 웨이퍼 패터닝, 천문학 및 우주 응용 분야, 생체의학, 생명공학 응용분야, 또는 기타 응용분야 등의 응용분야에 사용하기 위한 다른 구성요소를 제조하는 데 사용될 수도 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020187002864
첨부파일

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