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듀얼 모드 이온 주입기

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기관명	NDSL
출원인	베리안 세미콘덕터 이큅먼트 어소시에이츠, 인크.
출원번호	10-2016-7013098
출원일자	2016-05-18
공개번호	20160630
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	이온 주입기 내의 듀얼 모드 동작을 위한 시스템은 이온 빔의 전파의 제 1 국부적 방향에 수직인 제 1 방향에서 이온 빔의 빔 폭을 조정하기 위한 이동가능 빔 차단기를 포함할 수 있다. 시스템은, 제 1 상태에 있을 때 이온 빔의 전파의 제 2 국부적 방향에 대해 수직인 제 2 방향에서 이온 빔을 스캐닝하고 제 2 상태에서 흐트러지지 않은(unperturbed) 이온 빔을 전달하기 위한 스캐너; 및 이온 빔의 폭 및 스캐너의 상태를 함께 조정하기 위하여 이동가능 빔 차단기 및 스캐너로 신호들의 세트를 전송하기 위한 모드 선택기를 더 포함할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167013098
첨부파일

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