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모델링, 피드백 및 임피던스 매칭을 사용하는 에칭 레이트 제어

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기관명	NDSL
출원인	램 리써치 코포레이션
출원번호	10-2014-0132714
출원일자	2014-10-01
공개번호	20150416
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	에칭 레이트를 달성하기 위한 방법이 기술된다.이 방법은 플라즈마 챔버에서의 워크피스 프로세싱과 연관된 계산된 변수를 수신하는 단계를 포함한다.이 방법은 모델의 출력에서 상기 계산된 변수의 값을 생성하도록 상기 모델을 통해 상기 계산된 변수를 전파하는 단계, 상기 값과 연관된 계산된 프로세싱 레이트를 식별하는 단계, 및 상기 계산된 프로세싱 레이트에 기초하여 미리 결정된 프로세싱 레이트를 식별하는 단계를 더 포함한다.이 방법은 또한 미리 결정된 프로세싱 레이트에 기초하여 상기 출력에서 미리 결정된 변수가 달성되는지 식별하는 단계, 및 상기 미리 결정된 변수의 실수부 및 허수부와 연관된 지수들을 식별하는 단계를 포함한다.이 방법은 상기 미리 결정된 변수를 또한 달성하도록 상기 지수들을 달성하도록 상기 가변 회로 구성요소들을 제어하는 단계를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020140132714
첨부파일

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