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산업 공정과 관련된 진단 정보를 얻는 방법 및 장치

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
출원번호	10-2016-7011583
출원일자	2016-04-29
공개번호	20160616
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	리소그래피 공정에서 반도체 웨이퍼들과 같은 제품 유닛들이 리소그래피 패터닝 작업들 그리고 화학적 및 물리적 처리 작업들을 거친다.각각의 웨이퍼에 걸쳐 공간적으로 분포되는 지점들에서 측정된 위치 편차 또는 다른 파라미터들을 나타내는 객체 데이터를 얻기 위해, 정렬 데이터 또는 다른 측정들이 상기 공정의 수행 동안 스테이지들에서 만들어진다.이 객체 데이터는 다변량 분석을 수행함으로써 진단 정보를 얻어, 다차원 공간에 웨이퍼들을 나타내는 상기 벡터들의 세트를 하나 이상의 성분 벡터들로 분해하는 데 사용된다.산업 공정에 관한 진단 정보는 상기 성분 벡터들을 이용함으로써 추출된다.추출된 진단 정보에 기초하여 후속 제품 유닛들에 대한 산업 공정의 성능이 제어될 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167011583
첨부파일

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