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광학 스위치를 사용한 귀환빔 계측 시스템 및 방법

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기관명	NDSL
출원인	에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
출원번호	10-2016-7005369
출원일자	2016-02-26
공개번호	20160422
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	레이저 광이 타겟을 타격하면 극자외 광(EUV)이 레이저-생성 플라즈마(LPP) EUV 광원 내에 생성된다.귀환빔 진단(RBD) 모듈에 의하여 타겟으로부터의 반사광을 측정하면, 타겟 포지션, 타겟 초점, 타겟 형상, 및 타겟 프로파일을 포함하지만 이들로 한정되지 않는, EUV 생성에 대한 데이터가 얻어진다.RBD 모듈에서, 제어기는 광학 스위치를 시퀀싱하여 반사광을 차단 요소와 감지 디바이스 사이에서 디렉팅하여, 서로 다른 양태의 EUV 생성 프로세스 도중에 반사광을 측정하는 데에 있어서 더 큰 유연성, 예컨대 타겟을 타격하는 레이저 광의 상이한 파워 레벨 및 듀티 사이클을 제공한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167005369
첨부파일

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