포지티브형 감광성 수지 조성물, 그것을 경화시켜서 이루어지는 경화막 및 그것을 구비하는 광학 디바이스
기관명 | NDSL |
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출원인 | 도레이 카부시키가이샤 |
출원번호 | 10-2015-7035617 |
출원일자 | 2015-12-16 |
공개번호 | 20160311 |
공개일자 | 0000-00-00 |
등록번호 | |
등록일자 | 0000-00-00 |
권리구분 | KUPA |
초록 | 고굴절률, 고투명성의 특성을 손상시키지 않고, 실온에 있어서의 장기 보관 후에도 노광에 있어서 높은 감도를 갖고, 패턴 형성 후의 해상성, 내용제성이 우수한 포지티브형 감광성 수지 조성물을 개발한다. 본 발명은 특정 오르가노실란과 카르복실기 및/또는 디카르복실산 무수물 구조를 갖는 오르가노실란을 가수분해하고 부분 축합시킴으로써 합성되는 폴리실록산, (d) 알루미늄 화합물, 주석 화합물, 티탄 화합물 및 지르코늄 화합물에서 선택되는 1 이상의 금속 화합물의 입자, 또는 알루미늄 화합물, 주석 화합물, 티탄 화합물 및 지르코늄 화합물에서 선택되는 1 이상의 금속 화합물과 규소 화합물의 복합 입자, (b) 나프토퀴논디아지드 화합물, 및 (c) 용제를 포함하는 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물이다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157035617 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | G03F-007/075,G03F-007/023,G03F-007/039,H01L-027/146 |
주제어 (키워드) |