| 초록 |
스퍼터 증착 장치를 위한 캐소드 조립체(130; 200; 300; 400) 및 기판을 코팅하기 위한 방법이 제공된다.캐소드 조립체는 기판 상에 코팅을 하기 위한 코팅 측부를 가진다.또한, 상기 캐소드 조립체는 회전 축(220; 320; 420) 주위로 타겟 재료(210; 310; 410)를 회전시키도록 구성된 회전식 타겟 조립체; 그리고 내측 자극 및 적어도 하나의 외측 자극을 구비하고 그리고 하나 또는 둘 이상의 플라즈마 영역들(240; 250; 340; 350; 440; 441; 442; 443)을 생성하도록 구성된, 적어도 제 1 자석 조립체(230; 330; 340; 430; 431; 432; 433)를 포함한다.상기 캐소드 조립체(130; 200; 300; 400)가 상기 코팅 측부를 위해서 제공된 자극을 위한 제 1 각도 좌표 및 상기 코팅 측부를 위해서 제공된 추가적인 자극을 위한 제 2 각도 좌표(270; 370; 461; 463)를 가지며; 상기 제 1 각도 좌표(260; 360; 460) 및 상기 제 2 각도 좌표(270; 370; 461)는, 약 20 도 보다 크고 약 160 도 보다 작은 각도(α)를 형성한다. |
