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이종 복핵 착체를 포함하는 화학 증착용 원료 및 해당 화학 증착용 원료를 사용한 화학 증착법

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기관명	NDSL
출원인	다나카 기킨조쿠 고교 가부시키가이샤
출원번호	10-2017-7030166
출원일자	2017-10-19
공개번호	20171123
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은, 중심 금속인 제1 전이 금속 및 제2 전이 금속에, 시클로펜타디에닐 및 카르보닐이 배위한 이종 복핵 착체를 포함하고, 하기에 나타내는 화학 증착용 원료에 관한 것이다.하기에 있어서, 제1 전이 금속(M 1 )과 제2 전이 금속(M 2 )은 서로 상이하다.시클로펜타디에닐(L)은 1 이상 2 이하이고, 치환기 R 1 내지 R 5 로서, 각각 수소 원자, 탄소수 1 이상 5 이하의 알킬기 중 어느 1종이 배위한다.본 발명에 따른 화학 증착용 원료는, 단일 원료에 의해, 복수의 금속을 포함하는 복합 금속 박막 또는 복합 금속 화합물 박막을 형성할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020177030166
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