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원자층 퇴적 장치 및 원자층 퇴적 방법

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기관명	NDSL
출원인	제이에스더블유 아프티 가부시키가이샤
출원번호	10-2016-7009227
출원일자	2016-04-07
공개번호	20160616
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	막두께를 기판의 전영역에 있어서 균일하게 제어하는 전자층 퇴적 장치를 제공한다. 기판 상에 박막을 형성하는 원자층 퇴적 장치로서, 내부에 기판이 배치됨과 아울러 내부의 기체를 배출하는 복수의 배기구가 서로 간격을 두고 상기 기판의 박막이 형성되는 면과 평행하게 배열되어서 형성된 성막 용기와, 상기 박막의 원료 가스를 상기 성막 용기내에 공급하는 원료 가스 공급부와, 상기 기판에 흡착된 원료 가스의 성분과 반응해서 상기 박막을 형성하는 반응 가스를 상기 성막 용기내에 공급하는 반응 가스 공급부와, 상기 각 배기구에 접속된 배기 밸브와, 상기 복수의 배기 밸브를 제어함으로써 상기 각 배기구로부터의 배기량을 제어하는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 원자층 퇴적 장치.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167009227
첨부파일

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