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기판 상의 구조체를 측정하는 방법 및 장치, 오차 보정을 위한 모델, 이러한 방법 및 장치를 구현하기 위한 컴퓨터 프로그램 제품

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기관명	NDSL
출원인	에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
출원번호	10-2016-7016897
출원일자	2016-06-23
공개번호	20160728
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	재구성 프로세스는 리소그래피 공정에 의해 기판 상에 형성된 구조체를 측정하는 단계와, 모델링된 패턴을 생성하기 위한 재구성 모델을 결정하는 단계와, 모델 오차를 포함하는 다변수 비용 함수를 계산하고 최소화하는 단계를 포함한다.장애 파라미터에 의해 유도된 오차는 확률 밀도 함수에 의해 기술된 장애 파라미터의 거동의 통계적 기술에 기초하여 모델링된다.통계적 기술로부터, 모델 오차가 계산되고 평균 모델 오차 및 가중 행렬의 항으로 표현된다.이들은 재구성 모델의 복잡도를 증가시키지 않고서도 재구성에서의 장애 파라미터의 영향을 감소시키도록 비용 함수를 수정하기 위해 이용된다.장애 파라미터는 모델링된 구조체의 파라미터일 수도 있고, 및/또는 재구성에 사용된 검사 장치의 파라미터일 수도 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167016897
첨부파일

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