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ALD/CVD 규소-함유 필름 적용을 위한 유기실란 전구체

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기관명	NDSL
출원인	레르 리키드 쏘시에떼 아노님 뿌르 레?드 에렉스뿔라따시옹 데 프로세데 조르즈 클로드
출원번호	10-2014-7023486
출원일자	2014-08-22
공개번호	20150409
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	Si-함유 박막 형성 전구체, 그의 합성 방법 및 반도체, 광전지, LCD-TFT, 평판형 디바이스, 내화재 또는 항공분야의 제조를 위해, 기상 증착 방법을 사용하여 규소-함유 필름을 증착하기 위한 그의 사용 방법을 개시한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020147023486
첨부파일

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